更?。δ芨鼜?qiáng)的衛(wèi)星。另一個(gè)是協(xié)同工作的， 衛(wèi)星編隊(duì) 』 １ 飛行。這種小衛(wèi) 星群 的性能不亞于單顆大型衛(wèi)星 并可以 實(shí)現(xiàn)許多新的應(yīng) 用 ．包括先進(jìn)的天基雷達(dá)系統(tǒng) 長(zhǎng)基線信 號(hào)情報(bào) 系統(tǒng)和能與小型地面終端協(xié)同工作的通信 系統(tǒng)等 ：

　　五 文苔 先 斫 了微 小 衛(wèi) 星 技 術(shù) 的 發(fā) 展 班 狀 其 中 主 要 介 顰 了關(guān) 于 Ｎｓ ｌ 一些 基 本 信息 ．并重 點(diǎn) 探 了 ＭＥ ｓ硅 ?的 Ｍ

　　民用特種通信及科普教育等方面 ．目前一直運(yùn)行正常 此 外 衛(wèi)星 啥爾濱工業(yè)大學(xué)的光學(xué)成像小 ＿ Ｊ 星系統(tǒng) 也相姑 發(fā)射成功 探索一號(hào) 創(chuàng) 一號(hào) 小 中科院上海小衛(wèi)星工程部的創(chuàng)新項(xiàng) 目 ——

　　它擁有 ３個(gè)陀螺 ．可以精確測(cè)量衛(wèi)星的運(yùn)動(dòng)軌跡 ．短期精 度比較高 主要用于三軸穩(wěn)定姿態(tài)控制ＭＩ ＭＵ對(duì)衛(wèi)星 的 機(jī)動(dòng)能力有重大意義 結(jié)合液氫徽推進(jìn)技術(shù) ．使、 衛(wèi)星具 有很強(qiáng)的精確變軌能力

　　速 世界ｌ 已有 ２ 多個(gè)國(guó)家和地區(qū)Ｆ展了微小衛(wèi)星 的研究 ＿ ［ ］ 工作 微小衛(wèi)星如此勢(shì)頭勇猛的發(fā)展 可 以說(shuō)是匡際 天

　　拄 術(shù) 和 空 間 技 術(shù) 的 一 場(chǎng) 劃 時(shí) 代 的 罩 命 ． 國(guó) 在 微 小 衛(wèi) 星 及 ，我

　　其應(yīng)用敖術(shù)方面的研究起步較晚 ．現(xiàn)已將其列為高技武領(lǐng) 域未來(lái)重點(diǎn)發(fā)展的項(xiàng) 目之一 ， 到現(xiàn)在為止 果 我國(guó)在微小衛(wèi)星領(lǐng)域 已璺摩得 了一些成

　　目前微 小衛(wèi)星發(fā)展方 向主要有兩個(gè) ：一個(gè)是單顆輕 把微機(jī)械 、微結(jié)均 ．靈巧傳感器ｆｍａｔ ｅ ｓｒ和智能傳 感 Ｓ ｒ Ｓ ｎｏ ） 器歸＾ ＭＥ ＭＳ范疇 ．制作 ＭＥ ， ＭＳ的技 術(shù) 稱(chēng)作 ＭＥ ＭＳ技 術(shù) 它包括 微電子技 術(shù)和搬 工技術(shù)兩大部分。微 電子技術(shù) ｊ 妁主要內(nèi)容有 氧化 層生長(zhǎng) 光薊掩膜制作 光刻選擇摻雜

　　ＮＳ ｌ － 還試驗(yàn)了新型ＭＬ ＭＵ裝置 ｃ 微型慣 性測(cè)量組合 Ｊ ｌ

　　己經(jīng)于 ２ ） １ ２ （ 年 月 ８日成 功 發(fā) 射 它 的 體 積 為 ４ ｍｌ ￣ ］ ｌ× ４０ ｍ ×７Ｏ ａ 重 量 為 ７ ｋ 主 要 用 于 環(huán)黃 和 災(zāi) 害檢 測(cè) 、 ０ｒ ａ Ｏ ｍｌ ｌ ￣ ０ｇ

　　ＭＩ￣ 《 ｃ ｌ ｔ Ｄ Ｓ Ｍｉ ｏＥｅ ｒ ｒ ｃ ｏ￣ ｂ ｎｃ Ｓ ｓ ｍｓ ． ｉ Ｊ ｙｔ ｝這個(gè)新技 ａ ｖ ｅ

　　“九游娛樂(lè)會(huì)員有什么福利？”

　　術(shù)術(shù)語(yǔ)． 近年來(lái)不 但在傳感器技術(shù) 、測(cè)控技術(shù)和徽 電子技術(shù) 領(lǐng)域頻繁馥委 也在航禿技術(shù)領(lǐng)域 中不斷出現(xiàn)ＭＥ ＭＳ有的 譯威微 機(jī)電系統(tǒng)有的譯戒微 電子機(jī)械 系統(tǒng) 微 電子 。

　?。?— 的 遙 感成像功能 是國(guó) 內(nèi)首攻應(yīng)月 Ｃ ＭＳ工藝 ＳＩ Ｏ 制造的圖慷藏像器件 重量?jī)H ５ ｇ 具有集成度太和抗 干擾 ｏ 韻優(yōu)意 ．其耗 電量低 圖像處理 電路集威化 高的優(yōu)點(diǎn)非常 適 合微小 衛(wèi)星采 用 而且制 造成本 遠(yuǎn)低 于 ＣＣＤ，但是

　　進(jìn)一步 的提高。雖然 ＣＯ ＭＳ技術(shù) 的分 辨率還受到技 術(shù)限 制 但如果將小衛(wèi)星集臺(tái)威 網(wǎng)． 利用離散臺(tái)成孑 徑技術(shù) ｃ Ｌ 等 于將單一平臺(tái)使用的合 成孔徑技 術(shù)進(jìn)行空間分 解，同樣可 以實(shí)現(xiàn) 擴(kuò)大孔徑】 ．就可以提高分辨率。

　　工技術(shù)的主要 岡窖有 硅表面微加工和硅體微加工（ 向異性 各 犧牲 層） 技術(shù) 晶 鍵舍技術(shù) 制作 高深寬 ｝結(jié)構(gòu)扮 ： ＬＧ Ｉ Ａ技術(shù)等 用微 電子技 最可制造集成 電路和 多傳感 器：鍛加工技術(shù)很適合 制作某些壓力傳惑 加速度傳感 器、擻泵 微 微淘槽 微反應(yīng)室、微執(zhí)行器 微機(jī)械 等． 就能 充分 發(fā)揮微 電子技禾 能優(yōu)勢(shì) ． 這 利用 ＭＥ ＭＳ技術(shù)大 批量、低戚本地帶 造高可靠性微小衛(wèi)星

　　設(shè) 由清華大學(xué)精 密儀器 系為主競(jìng)玻 ．工程犯最 ’每制 開(kāi) 造由航 天清華 星技術(shù)有 限公 司完成 。這是該公司ｌ航 繼

　　天清垡 ｌ 號(hào) Ｋ Ｐ Ｋ ．Ｐ ２ ｃ 。 Ｔ１Ｓ Ｔ １ Ｓ 即 開(kāi)拓 ”系列 ）之 后研制 的第 四顆衛(wèi)星 具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)它的發(fā)射 成功 ． 標(biāo)志著 中國(guó)現(xiàn)代微小衛(wèi)星研制已步＾國(guó)際先進(jìn)水 平ＮＳ １ 一 能夠完成數(shù)據(jù)存儲(chǔ)轉(zhuǎn)發(fā)通信、微型遙感成像 三軸穩(wěn)定姿 態(tài)控制和軌道機(jī)動(dòng)試驗(yàn)等多項(xiàng)輯學(xué)實(shí)驗(yàn)任務(wù) 同酬還將進(jìn) 行微型傳感器與執(zhí)行器件 高性能電子元器件 措載飛行

　　如果把衛(wèi)星看作是 一個(gè) 系統(tǒng) 的話 ．那么通 常情 況 于一般筒墮 的衛(wèi)星來(lái)說(shuō)

　　木 與 Ｍ Ｅ ｓ 衛(wèi)星 豹疆 念 理 論 與 發(fā) 展 情況 矚確 推 出應(yīng) 甩 Ｍ

　?。?Ｅ ｓ拉 術(shù) 是 媾 小衛(wèi) 星 襲 走發(fā) 展 豹 必 然趨 勢(shì) 。 Ｍ